テクノロジーガイド:電子材料分野への展開、超微細基板から太線基板まで対応可能

<特徴>

  • 超微細基板:分解露光法、反応露光法
  • 中細線基板:電鋳転写法
  • 太線基板:接着法
  • 平滑平面へのエッチングフリー配線
  • 微細配線(I/S:2μm)から太線まで